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    Correlacion de los paramentros de deposito con las propiedades fisicas de peliculas delgadas de nitruro de aluminio preparadas por espurreo reactivo con magnetron
    por Zapien Soto, Juan Antonio
    Publicado 1994
    Otras Contribuciones: “…Muml Saunders, Stephen…”
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    Tesis de licenciatura
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