Correlacion de los paramentros de deposito con las propiedades fisicas de peliculas delgadas de nitruro de aluminio preparadas por espurreo reactivo con magnetron
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de licenciatura |
| Language: | Español |
| Published: |
1994
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000209403 http://132.248.9.195/pmig2016/0209403/Index.html |