Automatizacion de un sistema de produccion de peliculas delgadas por el metodo de Sputtering

Automatizacion de un sistema de produccion de peliculas delgadas por el metodo de Sputtering

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Ibuki Kasubuchi, Hector Tosiaki
Otras Contribuciones:	Rodriguez Ramirez, Francisco Javier (Asesor), Cruz Manjarrez, Héctor (Asesor)
Formato:	Tesis de licenciatura
Publicado:	MX 1997
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000253878 http://132.248.9.195/ppt2002/0253878/Index.html

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