Estudio de peliculas delgadas de nitruros de silicio fluorados depositadas por IC-RPECVD
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de doctorado |
| Publicado: |
MX
2005
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| Materias: | |
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| author | Fandiño Armas, Jesus Eduardo |
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