Desarrollo de una fuente de Sputtering tipo magnetron con electroiman
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2007
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000624444 http://132.248.9.195/pd2008/0624444/Index.html |
| Descripción no disponible. |