Dispositivo mems térmico con proceso metal mumps

Dispositivo mems térmico con proceso metal mumps

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Díaz Castro, Ricardo
Otras Contribuciones:	Martynyuk, Oleksander (Asesor)
Formato:	Tesis de maestría
Publicado:	MX 2008
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Sistemas microelectricomecánicos Simulación por computadora Dispositivos Conmutadores eléctricos
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000628032 http://132.248.9.195/pd2008/0628032/Index.html

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