Depósito de películas de carbono usando una fuente pulsada : efecto de la frecuencia y ancho de pulso

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Mendoza Ibañez, Víctor Antonio
Otras Contribuciones:	Rodil Posada, Sandra Elizabeth (Asesor)
Formato:	Tesis de maestría
Publicado:	MX 2008
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Magnetron sputtering Aplicación Sistemas de depósito de películas delgadas Películas delgadas de carbono
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000637806 http://132.248.9.195/ptd2009/enero/0637806/Index.html

Descripción
Descripción no disponible.

Ejemplares similares