Dinámica y contacto de un MEMS bajo un esquema de control LC

Dinámica y contacto de un MEMS bajo un esquema de control LC

Bibliographic Details
Main Author:	Tejada Wriedt, Manuel
Other Authors:	Flores Gallegos, Jorge Gilberto (Asesor)
Format:	Tesis de maestría
Published:	MX 2009
Subjects:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Sistemas microelectromecánicos
Online Access:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000641875 http://132.248.9.195/ptd2009/marzo/0641875/Index.html

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