Dinámica y contacto de un MEMS bajo un esquema de control LC
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Publicado: |
MX
2009
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000641875 http://132.248.9.195/ptd2009/marzo/0641875/Index.html |