Desarrollo de un microscopio confocal para la obtención de imágenes en 3D de dispositivos desarrollados con microlitografía
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Publicado: |
MX
2009
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| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000649276 http://132.248.9.195/ptd2009/septiembre/0649276/Index.html |