Desarrollo de un microscopio confocal para la obtención de imágenes en 3D de dispositivos desarrollados con microlitografía
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Other Authors: | |
Format: | Tesis de maestría |
Language: | Español |
Published: |
2009
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Subjects: | |
Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000649276 http://132.248.9.195/ptd2009/septiembre/0649276/Index.html |