Estudio de un microacelerómetro realimentado con actuación electrostática y transducción saw
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de doctorado |
| Published: |
MX
2014
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000711262 http://132.248.9.195/ptd2014/abril/0711262/Index.html |