Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de maestría |
| Language: | Español |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000751547 http://132.248.9.195/ptd2016/octubre/0751547/Index.html |
| Description not available. |