Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Publicado: |
México
2016
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| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000751547 https://tesiunamdocumentos.dgb.unam.mx/ptd2016/octubre/0751547/Index.html |