Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3

Análisis del efecto del cloro sobre el crecimiento de nanoestructuras de silicio por PECVD a partir de SiH2Cl2 y NH3

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Salazar Hernández, Jenifer
Otras Contribuciones:	Monroy Peláez, Betsabee Marel (Asesor)
Formato:	Tesis de maestría
Publicado:	MX 2016
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000751547 http://132.248.9.195/ptd2016/octubre/0751547/Index.html

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