Caracterización estructural, óptica y mecánica del oxinitruro de silicio formado espontáneamente durante el depósito de nitruro de silicio por ablasión laser pulsada
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de doctorado |
| Language: | Español |
| Published: |
2017
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000755999 http://132.248.9.195/ptd2017/febrero/0755999/Index.html |