Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Pérez Peña, Miguel Ángel
Otras Contribuciones:	Santana Rodríguez, Guillermo (Asesor)
Formato:	Tesis de maestría
Publicado:	México 2017
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000761511 https://tesiunamdocumentos.dgb.unam.mx/ptd2017/julio/0761511/Index.html

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