Síntesis de películas delgadas de tin por medio de pulverización catódica reactiva : estudio y optimización del proceso mediante espectroscopía de emisión óptica del plasma
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| Format: | Tesis de maestría |
| Published: |
México
2020
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000802103 https://tesiunamdocumentos.dgb.unam.mx/ptd2020/junio/0802103/Index.html |