Estudio y crecimiento de la interface Si/SiO2 mediante oxidación térmica como propuesta de fabricación en un dispositivo pseudo-MOSFET
Main Author: | |
---|---|
Other Authors: | |
Format: | Tesis de licenciatura |
Published: |
MX
2020
|
Subjects: | |
Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000802935 http://132.248.9.195/ptd2020/agosto/0802935/Index.html |