Atrapamiento de los electrones y la distribución del depósito producido por sputtering con magnetrón

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Salguero Martínez, Kassandra
Otras Contribuciones: Muhl Saunders, Stephen (Asesor)
Formato: Tesis de maestría
Publicado: MX 2022
Materias:
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000828793
http://132.248.9.195/ptd2022/agosto/0828793/Index.html