Estudio de las propiedades ópticas, estructurales y microestructurales de películas delgadas de SINx crecidas a temperatura ambiente mediante pulverización catódica asistida por radiofrecuencia
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de maestría |
| Language: | Español |
| Published: |
2023
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000836014 http://132.248.9.195/ptd2023/marzo/0836014/Index.html |