Preparacion de peliculas de nitruro de silicio por PECVD y su caracterizacion electrica
| Autor principal: | |
|---|---|
| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Publicado: |
MX
1990
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000139255 http://132.248.9.195/pmig2017/0139255/Index.html |