Dióxido de silicio depositado por plasma a partir de una nueva mezcla de gases
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de doctorado |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
1991
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000147830 http://132.248.9.195/ppt1997/0147830/Index.html |