Diseño de un sensor capacitivo de desplazamientos nanometricos en tres dimensiones para alinear los segmentos del espejo primario del TIM
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Publicado: |
México
2000
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| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000279310 https://tesiunamdocumentos.dgb.unam.mx/pd2000/279310/Index.html |