Diseño de un sensor capacitivo de desplazamientos nanometricos en tres dimensiones para alinear los segmentos del espejo primario del TIM
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Publicado: |
MX
2000
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| Materias: | |
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| author | Quirós Pacheco, Fernando |
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