Sintesis y caracterizacion de peliculas delgadas de nitruro de boro y nitruro de carbono preparadas por espurreo reactivo con magnetron
| Main Author: | |
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| Other Authors: | , |
| Format: | Tesis de doctorado |
| Published: |
MX
2001
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000287785 http://132.248.9.195/pd2001/287785/Index.html |