Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Publicado: |
MX
2001
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000296748 http://132.248.9.195/pd2001/296748/Index.html |
| _version_ | 1832755637033893888 |
|---|---|
| author | Pichardo Pedrero, Ernesto |
| author2 | Alonso Huitrón, Juan Carlos |
| author2_role | Asesor |
| author_facet | Alonso Huitrón, Juan Carlos Pichardo Pedrero, Ernesto |
| author_sort | Pichardo Pedrero, Ernesto |
| collection | DSpace |
| degree_department | Instituto de Investigaciones en Materiales |
| degree_department_facet | Instituto de Investigaciones en Materiales |
| degree_grantor | Universidad Nacional Autónoma de México |
| degree_level | Maestría |
| degree_name | Maestría en Ciencias (Ciencia de Materiales) |
| degree_name_facet | Maestría en Ciencias (Ciencia de Materiales) |
| format | Tesis de maestría |
| id | 20.500.14330-TES01000296748 |
| institution | Universidad Nacional Autónoma de México |
| publishDate | 2001 |
| publisher | MX |
| record_format | dspace |
| rights | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0 Acceso en línea sin restricciones |
| spelling | 20.500.14330-TES010002967482025-03-27T02:08:51Z Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica Pichardo Pedrero, Ernesto Alonso Huitrón, Juan Carlos Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Ciencias Biológicas, Químicas y de la Salud 2001 Tesis de maestría https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000296748 http://132.248.9.195/pd2001/296748/Index.html 001-00347-P1-2001-1 http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0 Acceso en línea sin restricciones MX https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000296748 Maestría en Ciencias (Ciencia de Materiales) Universidad Nacional Autónoma de México Instituto de Investigaciones en Materiales Maestría |
| spellingShingle | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Ciencias Biológicas, Químicas y de la Salud Pichardo Pedrero, Ernesto Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| title | Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| title_full | Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| title_fullStr | Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| title_full_unstemmed | Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| title_short | Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| title_sort | peliculas delgadas de sio2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica |
| topic | Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Ciencias Biológicas, Químicas y de la Salud |
| url | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000296748 http://132.248.9.195/pd2001/296748/Index.html |
| work_keys_str_mv | AT pichardopedreroernesto peliculasdelgadasdesio2impurificadasconfluordepositadasporplasmaparaaplicacionesenmicroelectronica |