Peliculas delgadas de SiO2 impurificadas con fluor depositadas por plasma para aplicaciones en microelectronica

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Pichardo Pedrero, Ernesto
Otras Contribuciones:	Alonso Huitrón, Juan Carlos (Asesor)
Formato:	Tesis de maestría
Publicado:	MX 2001
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Ciencias Biológicas, Químicas y de la Salud
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000296748 http://132.248.9.195/pd2001/296748/Index.html

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