El papel del hidrogeno en las propiedades fisicas de peliculas de Si O2 depositadas por RPECVD
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de licenciatura |
| Published: |
MX
2002
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000306293 http://132.248.9.195/ppt2002/0306293/Index.html |