Composicion elemental de peliculas SixNyHz/Si producidas con tecnicas de plasmas utilizando un acelerador de particulas
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Publicado: |
MX
2004
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000336914 http://132.248.9.195/ppt2004/0336914/Index.html |