Análisis, diseño y simulación de un microacelerómetro basado en SAW y MEMS

Detalles Bibliográficos
Autor principal:	Guerra Pulido, Jaime Octavio
Otras Contribuciones:	Pérez Alcázar, Pablo Roberto (Asesor)
Formato:	Tesis de maestría
Publicado:	MX 2009
Materias:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías Sistemas microelectricomecánicos Ondas acústicas de superficie Sistemas microelectromecánicos Microacelerómetro Diseño Simulación por computadora Aparatos e instrumentos electrónicos
Acceso en línea:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000639799 http://132.248.9.195/ptd2009/febrero/0639799/Index.html

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