Influencia de la potencia de RF y la presión en la intensidad y posición de los picos de fotoluminiscencia de películas de nitruro de silicio ricas en silicio obtenidas por PECVD
| Main Author: | |
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| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de maestría |
| Published: |
MX
2011
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000667603 http://132.248.9.195/ptb2011/marzo/0667603/Index.html |