Desarrollo de mascaras para litografía a partir de monocapas de partículas coloidales de sílice
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Publicado: |
MX
2011
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000669858 http://132.248.9.195/ptb2011/junio/0669858/Index.html |