Estudio de las propiedades ópticas y la estabilidad química de películas delgadas de nc-SiNx:H crecidas por PECVD, variando el hidrógeno y la potencia del plasma
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2013
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000703425 http://132.248.9.195/ptd2013/octubre/0703425/Index.html |