Propiedades ópticas y estructura de películas delgadas de nitruro de silicio con nano cúmulos de silicio embebidos depositadas por rpecvd

Propiedades ópticas y estructura de películas delgadas de nitruro de silicio con nano cúmulos de silicio embebidos depositadas por rpecvd

Bibliographic Details
Main Author:	Serrano Núñez, Mario Alberto
Other Authors:	Alonso Huitrón, Juan Carlos (Asesor)
Format:	Tesis de maestría
Published:	MX 2015
Subjects:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Online Access:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000735424 http://132.248.9.195/ptd2015/septiembre/0735424/Index.html

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