Propiedades ópticas y estructura de películas delgadas de nitruro de silicio con nano cúmulos de silicio embebidos depositadas por rpecvd
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de maestría |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2015
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000735424 http://132.248.9.195/ptd2015/septiembre/0735424/Index.html |