Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD

Bibliographic Details
Main Author: Pérez Peña, Miguel Ángel
Other Authors: Santana Rodríguez, Guillermo (Asesor)
Format: Tesis de maestría
Published: MX 2017
Subjects:
Online Access:https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000761511
http://132.248.9.195/ptd2017/julio/0761511/Index.html
_version_ 1832756732842999809
author Pérez Peña, Miguel Ángel
author2 Santana Rodríguez, Guillermo
author2_role Asesor
author_facet Santana Rodríguez, Guillermo
Pérez Peña, Miguel Ángel
author_sort Pérez Peña, Miguel Ángel
collection DSpace
degree_department Programa de Maestría y Doctorado en Ciencia e Ingeniería de Materiales
degree_department_facet Programa de Maestría y Doctorado en Ciencia e Ingeniería de Materiales
degree_grantor Universidad Nacional Autónoma de México
degree_level Maestría
degree_name Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales
degree_name_facet Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales
format Tesis de maestría
id 20.500.14330-TES01000761511
institution Universidad Nacional Autónoma de México
publishDate 2017
publisher MX
record_format dspace
rights http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0
Acceso en línea sin restricciones
spelling 20.500.14330-TES010007615112024-06-18T05:43:58Z Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD Pérez Peña, Miguel Ángel Santana Rodríguez, Guillermo Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías 2017 Tesis de maestría https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000761511 http://132.248.9.195/ptd2017/julio/0761511/Index.html http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0 Acceso en línea sin restricciones MX https://tesiunam.dgb.unam.mx/F?current_base=TES01&func=direct&doc_number=000761511 Maestría en Ciencia e Ingeniería de Materiales Universidad Nacional Autónoma de México Programa de Maestría y Doctorado en Ciencia e Ingeniería de Materiales Maestría
spellingShingle Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Pérez Peña, Miguel Ángel
Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD
title Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD
title_full Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD
title_fullStr Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD
title_full_unstemmed Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD
title_short Estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por PECVD
title_sort estudio de la fotoluminiscencia del silicio poroso con diferentes tratamientos de plasma por pecvd
topic Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
url https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000761511
http://132.248.9.195/ptd2017/julio/0761511/Index.html
work_keys_str_mv AT perezpenamiguelangel estudiodelafotoluminiscenciadelsilicioporosocondiferentestratamientosdeplasmaporpecvd