Modificación de las propiedades de dieléctricos nanolaminados de alta-k sintetizados por la técnica de depósito por capa atómica (ALD)
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de doctorado |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2017
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000767837 http://132.248.9.195/ptd2017/noviembre/0767837/Index.html |