Modificación de las propiedades de dieléctricos nanolaminados de alta-k sintetizados por la técnica de depósito por capa atómica (ALD)
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Tesis de doctorado |
| Published: |
MX
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000767837 http://132.248.9.195/ptd2017/noviembre/0767837/Index.html |