Diseño, fabricación y automatización de un ozonizador para el tratamiento de óxidos amorfos en el laboratorio de microelectrónica
| Autores principales: | , |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2022
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000831616 http://132.248.9.195/ptd2022/octubre/0831616/Index.html |