Manual para el diseño de un dispositivo de fotolitografía de bajo costo para aplicaciones BioMEMS
| Autor principal: | |
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| Otras Contribuciones: | |
| Formato: | Tesis de licenciatura |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
2023
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000834188 http://132.248.9.195/ptd2023/enero/0834188/Index.html |