Manual para el diseño de un dispositivo de fotolitografía de bajo costo para aplicaciones BioMEMS

Manual para el diseño de un dispositivo de fotolitografía de bajo costo para aplicaciones BioMEMS

Bibliographic Details
Main Author:	Vargas Ramírez, Arturo
Other Authors:	González Hernández, Gerardo (Asesor), Pilloni, Oscar (Asesor)
Format:	Tesis de licenciatura
Published:	MX 2023
Subjects:	Ciencias Físico - Matemáticas y de las Ingenierías
Online Access:	https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000834188 http://132.248.9.195/ptd2023/enero/0834188/Index.html

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