Desarrollo de una fuente de Sputtering tipo magnetron con electroiman

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Ramirez Flores, Maria Teresa
Otras Contribuciones: Flores Morales, Luis (Asesor)
Formato: Tesis de licenciatura
Lenguaje:Español
Publicado: 2007
Materias:
Acceso en línea:https://hdl.handle.net/20.500.14330/TES01000624444
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